正压或负压的监测是洁净室中的一个典型的压差测量的应用。市场上原有的差压变送器,在进行压力测量时总会受到温度漂移或是时间漂移这两个因素的影响,从而导致测量结果不够准确,影响洁净室工艺过程的精确控制。为了克服此类漂移,得到更为精准可靠的测量值,德图仪器(Testo)于2010年8月隆重推出新一代的差压变送器,采用了周期性自动零漂校准(自校零)的功能。
温湿度和差压三效合一
为确保产品品质或生产工艺要求的洁净度,某些产品的加工过程必须在洁净室中进行。洁净室环境对仪器的放置、使用、精度和长期稳定性都有着极高的要求。为防止外部空气中灰尘侵入造成的污染(人员进入洁净室带入的灰尘、生产环节中产生的灰尘),洁净室必须保持正压,并须依照ISO14644的要求对压差进行监测。此外,洁净室还需要对其它环境参数进行监测,比如温湿度,以保持恒定的洁净室环境。
基于这些要求,来自德国Lenzkirch的德图测量专家,研发了新一代的差压变送器。新的变送器改变了外壳材料并完善了仪器的功能,推出了可同时完成3个环境参数测量的变送器(差压、温湿度),其探头还可以灵活的放置于不同的检测地点。
测量点在主机位置时,可以直接在testo 6383上连入温湿度探头。如果测量点在其它位置,可以使用testo 6610探头的延长电缆。依照工艺需要,测量电缆可以穿过洁净室隔离墙,灵活放置探头测量位置。
自动化零漂校准,实现长期稳定监测
“自校零”确保了差压测量的长期稳定性。这是testo新一代差压变送器的又一个显著的特点。不同于市场上的手动调零的仪器, testo使用电磁阀的新变送器不需手动操作,电磁阀周期性的闭合,正压端的输入气路被阻,因此传感器的两端均是相同的来自负压端的气压P1,可以实现零点的自动扣除。即电磁阀导通,P1 = P2 进行自校零,这不仅方便客户使用,且保证了仪器测量的长期精确度和稳定性。 |